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壓電物鏡定位器結合二維壓電掃描臺用于光學顯微成像

更新時間: 2019-08-26

光學顯微成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光,通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向超精密運動,XY二維壓電掃描臺帶動樣品實現高精度的二維平臺位移運動,可使觀測精度達納米級。

光學顯微成像原理

壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器

芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設計的Z軸運動壓電物鏡定位器,采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計,無摩擦,物鏡補償量小,具有超高聚焦穩定性。聚焦范圍可達 500μm,負載可達500g。分立式螺紋設計,可適配多種型號的物鏡,也可選擇螺紋牙轉接器進行轉接。物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度。

壓電掃描臺

芯明天二維壓電掃描臺具有中心通孔,采用直驅或機構放大原理,柔性鉸鏈支撐傳動,內置高可靠性壓電陶瓷驅動,掃描范圍可達375μm,分辨率可達0.1nm,多種通孔尺寸可選。主要應用于透光精密光學器件的定位與調整、生物顯微與光學顯微系統成像等。

驅動控制

壓電物鏡定位器結合二維壓電掃描臺可選配三通道壓電控制器進行驅動控制,可根據開閉環、階躍時間等參數要求選擇不同型號的控制器。

芯明天E01.D3與E70.D4S壓電控制器

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