壓電納米定位臺工作時，原子力探針的針頭部置于干涉顯微鏡的光軸上，產生干涉條紋由CCD接收，當XY二維壓電納米定位臺帶動樣件移動時，表面高度變化，引起原子力探針變化，其變化量由白光干涉條紋計量。當原子力探針的變化量超過預定閾值，Z向壓電陶瓷啟動，將原子力探針拉回原位，實現原子力探針的跟蹤測量。
疊堆型壓電促動器是利用縱向壓電效應將電能轉化為位移動力等機械能的陶瓷元件，采用高應變率的壓電陶瓷材料，以及元件結構設計，外形更小，形狀各異，造型豐富，應用范圍涵蓋各種裝置的準確定位或驅動源等，用途廣泛。基于他們的設計，非常適合易于集成到特定的客戶系統中。它們外部表面是由一個靈活的絕緣材料構成，具有灰色樹脂與綠色樹脂兩種版本規格。
疊堆壓電陶瓷驅動器產品在結構上面對抗拉力的耐受度低，如果施加拉力，則有可能發生故障（損壞）。若在使用過程中，施加壓縮力，則能有效防止機械性損壞。對元件施加的壓力，請以元件的輸出力的20~50%為參考值。安裝時，請使元件的位移發生軸與安裝面保持垂直。協助配合壓電陶瓷的安裝，可選擇球頭端或扁平面鎢鋼合金進行安裝操作。
壓電納米定位臺系統，磁滯嚴重降低其定位精度。基于磁滯逆模型的定位控制方法，可提高定位精度。然而，因其對模型依賴大，無法在內、外擾動因素存在時，仍保證良好的定位效果。為此，視磁滯為干擾，設計不基于磁滯及定位系統數學模型的自抗擾控制，利用擴張狀態觀測器主動估計磁滯，并實時補償之，以保證定位精度。
