壓電移相器特性說明
產品特性
壓電移相器用于掃描、光學對準及鏡子移動裝置對準
10mm中空
壓電三腳設計
光束偏轉可達2.4mrad
活塞運動可達12μm（移相器）
亞毫秒響應，亞微弧度分辨率
用于光學，鏡片或其他部件
無摩擦，高精度彎曲導向系統
平行運動學擴展動態性及更好的多軸精度
壓電移相器內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，確保了壓電移相器具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。專為高精度定位的光學系統應用而設計，超大的中空設計，方便應用于測量、干涉測量、白光干涉測量、納米定位掃描儀。分立的螺紋轉接器，可適配多種型號的物鏡。掃描臺為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。
