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X軸大行程壓電納米定位臺

更新時間: 2021-08-23

P60.X250高精度的一維X向壓電納米定位臺,平臺采用有限元分析(FEA)優化的線切割撓曲鉸鏈結構,內置高性能壓電疊堆陶瓷,具有非常高的線性度,運動行程可達330μm,已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。

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P60.X250可以選擇開環或閉環版本,閉環版本內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器(SGS),以消除熱漂移,使得該系列納米定位臺可以實現非常高的線性度與重復度。同時,其抗震動的設計,非常適用于相關實驗及應用環境。

特點

X向運動

行程可達330μm

• 抗振動設計

• 兩通道控制(含1路恒壓)

• 差分驅動

• 快速響應

應用

計量/干涉

• 納米定位

• 質量保證測試

• 精密控制

電壓位移曲線

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階躍時間曲線

P60.X250S帶載200g,小幅值階躍時間可達20ms。

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技術參數

運動自由度X

行程范圍(0~120V)±130μm

行程范圍(0~150V)±165μm

傳感器SGS

/開環分辨率12/5nm

閉環線性度0.1%F.S.

閉環重復定位精度0.04%F.S.

俯仰/偏航/滾動10μrad

/拉力300/30N

運動方向剛度1.2 N/μm

空載諧振頻率490Hz

/開環空載階躍時間80/40ms

承載能力0.6kg

靜電容量24.6μF

工作溫度-40~+80℃

抗振設計半正弦15g,11ms

后峰鋸齒波20g,11ms

材質鋼、鋁

重量950g

推薦控制器

P60.X250為一維X向差分驅動定位臺,需配套兩通道(含一路恒壓)控制器,可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器,同時驅動兩臺P60.X250,實現精密運動控制。

 

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