N31系列直線壓電馬達(dá)，行程可達(dá)100mm!
N31系列直線壓電馬達(dá)，內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動(dòng)，直線運(yùn)動(dòng)行程可選 25、50、100mm，可達(dá)亞納米級(jí)分辨率。可選配閉環(huán)伺服傳感器（增量式編碼器），具有更高的定位精度。可選移動(dòng)臺(tái)面。
特點(diǎn)
• 大出力
• 閉環(huán)誤碰后自動(dòng)歸位
• 上電自動(dòng)找零位
• 可選光柵數(shù)字閉環(huán)
• 采用耐磨材料，真空無磁兼容
應(yīng)用領(lǐng)域
• 工業(yè)級(jí)精密定位
• 半導(dǎo)體技術(shù)/測(cè)試
• 晶圓檢測(cè)
• 平版印刷
• 納米壓印
• 納米計(jì)量學(xué)
• 在強(qiáng)磁場(chǎng)和真空中運(yùn)動(dòng)
大出力
N31系列直線壓電馬達(dá)的主動(dòng)推拉力可達(dá)50N，被動(dòng)保持力達(dá)60N。并且，N31水平放置時(shí)，可承載10kg負(fù)載下進(jìn)行高精度運(yùn)動(dòng)。
增量式編碼器提高精度
N31可選配增量式編碼器作為閉環(huán)傳感器，可提高直線運(yùn)動(dòng)的精度。
斷電自鎖、自動(dòng)找零、自動(dòng)歸位
N31在斷電后具有自鎖功能，且再次上電時(shí)，會(huì)自動(dòng)找零位。在使用中，若有誤碰情況，N31會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)歸位。
耐磨材料
N31直線壓電馬達(dá)采用高耐磨材料，壽命達(dá)千米以上。
配套控制器
E71系列壓電控制器是專為驅(qū)動(dòng)N31直線壓電馬達(dá)而設(shè)計(jì)，它是由上位機(jī)數(shù)字控制，運(yùn)動(dòng)速度可調(diào)，采用逼進(jìn)式到達(dá)目標(biāo)位置的設(shè)定方式。
N31技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：N31直線壓電馬達(dá)
運(yùn)動(dòng)自由度：X
集成傳感器類型：增量式編碼器
標(biāo)稱行程范圍：25mm、50mm、100mm
速度上線：10mm/s
閉環(huán)分辨率：＜10nm
開環(huán)分辨率：＜0.1nm
推/拉力（主動(dòng)）：50N
保持力（被動(dòng)）：60N
工作溫度：0~50℃
材質(zhì)：鋁，不銹鋼
電纜長(zhǎng)度：1.5m
17051647888
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