壓電掃描臺的響應速度十分迅速，利用壓電陶瓷的形變驅動，以柔性鉸鏈為導向，采用硅高精度位移傳感器，并利用超低電子噪聲的控制器使位移平臺擁有緊湊的體積、亞微米的分辨率及超低底噪。被廣泛的應用于超分辨率顯微鏡，光學捕獲和原子力顯微鏡等領域。
壓電掃描臺專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現XY軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。
空式壓電平臺是指平臺臺面有透空通孔的平移臺。主要應用于透光精密光學器件的定位與調整，可與顯微鏡和分析設備結合使用用于定位與測量。如超分辨顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM顯微鏡）生物學研究等。
壓電掃描臺主要應用：
1.圖像處理與穩定/掃描顯微；
2.干涉/計量；
3.表面檢測；
4.晶圓定位/微操作。
壓電掃描臺大行程穩定性好響應速度快，壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺可實現XY軸187.5×187.5μm的位移行程，優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。閉環版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列閉環控制器配套使用，具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm大通孔，適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。
