300微米行程、中空式三維運動壓電平臺！
P15 壓電掃描臺是快速、高精度的三軸掃描和納米定位臺，具有非常高的直線度。中心通孔66×66 mm，非常適于透射光應用，如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。P15 壓電掃描臺運動行程為300μm/ 軸，它的內部采用有限元分析（FEA）優化的線切割撓曲鉸鏈結構。 FEA 使其設計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動小化。
特點
• 三維運動
• 行程范圍為 300μm/ 軸
• 可選配閉環傳感器
• 無摩擦、高精度撓性導向系統
• 掃描平整度高
• 通孔尺寸 66×66mm
應用
掃描顯微鏡、掩模 / 晶圓定位、干涉、度量衡學、生物技術、微操作等。
可選配閉環反饋傳感器
P15 壓電掃描臺可選配閉環反饋傳感器，可提供更高的定位精度，非常適合高精度定位應用。
技術參數
注：以上參數是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。大驅動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0~120V。
帶載階躍時間
