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壓電陶瓷驅動微位移定位系統

更新時間: 2019-08-05

在精密加工、微電子、生物工程、醫療科學等各個領域,微位移定位技術都得到了廣泛的應用。如用于電化學加工、微雕刻;用于微機電系統的加工與裝配;在掃描探針顯微鏡中,用于測量樣品表面形貌等等。

這些領域的發展對微位移定位技術提出了高分辨率、高精度、高頻響等要求。芯明天微位移定位系統采用直驅或機構放大設計原理,內部采用高可靠性壓電陶瓷作為驅動源,無摩擦無空回的柔性鉸鏈導向機構支撐傳動,使其具有分辨率高、響應速度快、無機械摩擦、不受磁場干擾等特點,在上述等領域中得到了廣泛的應用。

<< 芯明天壓電陶瓷及柔性鉸鏈

芯明天壓電疊堆陶瓷具有優異性能及超長使用壽命,多種尺寸及位移集成到微位移定位系統中可滿足不同應用的需求。柔性鉸鏈機構結構緊湊且無摩擦,適合與壓電陶瓷組成分辨率高,頻響高的超高精度微位移定位系統。

<< 芯明天微位移定位系統

壓電納米定位臺

芯明天壓電納米定位臺可實現X、Z、XY、XZ、XYZ方向精密運動,運動范圍大可達375μm,分辨率可達0.1nm。中心通孔版本,非常適用于透光精密光學器件的定位與調整、生物顯微與光學顯微成像等系統。

壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/ 測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

壓電偏擺臺/偏轉鏡

壓電偏擺臺/偏轉鏡系列是通過壓電陶瓷驅動進行精密角度調整,內部采用柔性鉸鏈結構設計,確保實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度,是激光光束掃描以及激光合束等光路調整的不錯選擇。

壓電控制器

芯明天壓電控制器通過模擬輸入或數字輸入控制,具有功率放大功能,且輸出電壓及輸出頻率可調,控制壓電運動產品運動速度及幅度。根據結構形式主要分為模塊化式、集成式、工業式、小體積等。多種控制方式及通道數可選。

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