壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)超精密定位
近年來，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在半導(dǎo)體、精密測量、超精密加工和納米技術(shù)等領(lǐng)域?qū)Χㄎ痪扔兄絹碓絿?yán)苛的限制，這就需要高性能的超精密壓電定位臺(tái)作為技術(shù)。
為了實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位，需要高精度的驅(qū)動(dòng)方式和傳動(dòng)方式，使定位臺(tái)達(dá)到納米級(jí)的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺(tái)利用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為傳動(dòng)裝置構(gòu)成超精密定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精密定位。
芯明天納米定位臺(tái)采用的是柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)高分辨率以及大位移行程。
柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺(tái)。同時(shí)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺(tái)的使用壽命。
芯明天壓電納米定位臺(tái)
芯明天壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運(yùn)動(dòng)，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有*的可靠性。
產(chǎn)品應(yīng)用
超精密測量
采用芯明天壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的力控制實(shí)驗(yàn)。
超精密機(jī)械加工
壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)刀具微納米級(jí)進(jìn)給，從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)非球面、微結(jié)構(gòu)及模具納米級(jí)超精密加工。
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